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利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有強的清除效果。利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。
可以裂解惡臭氣體有：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鍵，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。
當廢氣進入吸附箱后，進入活性炭吸附層，由于活性炭吸附層表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學鍵力，因此當活性炭吸附層表面于氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其農匯聚并保持在活性炭表面，此現象就是吸附。利用活性炭吸附層表面的吸附能力，使廢氣與多孔性活性炭吸附層相接觸，廢氣的污染物被吸附在活性炭表面上，使其于氣體混合物分離，凈化后氣體高空排放。
